洁净厂房特殊气体供应系统竣工CAD图纸

  • 建筑类别:工业建筑,化工建筑
  • 建筑类型:厂房仓库
  • 建筑设计面积:20000平方米
  • 空调面积:6800平方米
  • 地上楼层:2
  • 地下室:无
  • 设计阶段:竣工图
  • 设计内容:除尘洁净
  • 设计详细说明:有
  • 参考图纸:20张以下
  • 设计年代:近代

附件详情

  • 设计及施工说明
  • 资料目录
  • 设备表
  • 动力站设备布置平面图
  • SIH4设备布置平面图
  • PH2管道系统流程图
  • CO2管道系统流程图
  • CH4管道系统流程图
  • B2H6(2%)/H2管道系统流程图
  • PH3(0.5%)/H2管道系统流程图
  • TMB(2%)/H2管道系统流程图
  • NF3管道系统流程图
  • SIH4管道系统流程图
  • DEZ道系统流程图
  • GDS-PID特气监测
  • 动力站管道布置平面图
  • 室外管线平面图

附件详情

此稿件为湖南某洁净厂房净化系统中特殊气体供应系统竣工图纸;该厂房为硅基薄膜太阳能电池生产线。
设计内容:大宗气体PH2供应系统;特殊气体B2H6(2%)H2,CH4,NF3,PH3(0.5%)H2,TMB(2%)H2,CO2,SiH4等的供应系统;以及化学系统DEZ供应系统。

氢气管道系统:氢气输送管道采用主管分配VMB设计原则,管道选择依最大流量设计流速小于10M/S;从氢气站预留口接一条1" 主管线接入102 厂房,先进纯化器,然后接至VMB; 工艺设备对氢气的总需求量为28M3/H.纯化器之前管道材质采用SS 316L BA不锈钢无缝钢管,阀门为不锈钢球阀,管道附件采用与管材相同材质的产品;纯化器之后管道材质采用SS 316L EP不锈钢无缝钢管,波纹管阀/隔膜阀,管道附件采用与管材相同材质的产品。
……


,图纸共15张。

GDS-PID特气监测

PH2管道系统流程图

SIH4管道系统流程图

以下是附件的其中一部分截图,共4张,您也可以 搜索 更多您想要的资源
  • 洁净厂房图纸 - 1
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  • 洁净厂房图纸 - 2
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  • 洁净厂房图纸 - 3
    洁净厂房图纸 - 3
  • 洁净厂房图纸 - 4
    洁净厂房图纸 - 4
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